光氧废气净化器利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
光氧催化废气净化器特点：
1.光解氧化适用环境：光解氧化适合在常温下将废气臭气等有毒有害有味成份完全氧化净化成无毒无害味的低分子成份，适合处理高浓度（可用预处理的方式让浓度均匀通过）、气量大（设备可组合式处理）、分子结构稳定性强的有毒有害气体。
2.有效净化彻底：通过光解氧化可直接将空气中的有机废气完全氧化成无毒无害的物质，不留任何二次污染。
3.节能：光解氧化利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗，利用废气臭气表面中的水份和氧气作为氧化剂，有效地降解有毒有机废气体成为光催化净化、节约能源的特点。
4.广谱性：光解氧化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有很好的去除效果，只要达到一定的反应时间和反应环境配比即可达到完全氧化，可以说氢氧自由基的氧化对象几乎没有选择性，能跟任何现有物质反应。
5.使用命长：从理论上讲，由于光解氧化反应中直接参与氧化还原，所以没有损耗，寿命是无限长的，无需更换。设备选型说明A、若采用UV光解技术净化废气，首先需要确定个化学键键能，只有键能低于UV光子能量，才能被裂解上表中包含了氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚等恶臭气体的所有化学键键长、键能参数，而光解氧化除臭设备产生的185nm超强紫外线光的光子能量达到647KJ/mol，185nm超强紫外线光波段中的成分广谱波长可短至100nm，其光子能量更高达800KJ/mol以上，几乎所有恶臭气体的分子链都可被打开，从而起到消除臭味的作用。要通过臭氧将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。顾需要有充分的氧气被高能UV光照射生成臭氧。
光氧催化区工作原理：
通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化， 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有超强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有超强的效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化， 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭菌的目的。
光氧废气净化器的优点：
1、净化效率高、运行稳定;
2、结构紧凑、新颖、体积小、重量轻、模块化结构设计;
3、噪声小于45db(A)、风阻小于Pa;
4、运行成本低、耗电功率小;
5、维护方便、使用寿命长;
6、 可靠，价格合理。
对于等离子光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及农药生产厂等多个行业中的有毒有害气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在95%左右，是目前市场上不错的废气净化设备。